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第183章 0.18微米 (1/4)

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第183章 微米

春去夏至。滬上,張江。

龍安半導體一期晶圓廠(Fab1)。

這是一座巨大的、銀白色的金屬怪獸,匍匐在江南的梅雨季裏。廠房外牆上,「東大芯,龍安造」六個紅色大字在雨霧中顯得格外刺眼。

CP測試區()。

數百臺探針臺整齊排列,發出單調的機械聲。這裏是審判庭。每一片晶圓都要在這裏接受最殘酷的檢驗,決定它是成爲昂貴的芯片,還是淪爲一文不值的廢硅片。

江權站在觀察窗前。

他已經站了三個小時。

玻璃窗內,趙維明、樸正洙、田中,還有幾十個內核工程師,正圍着一臺測試機。他們的背影僵硬得像雕塑。

「第一批Lot(批量)數據出來了。」

阿忠的聲音很低,像是怕驚擾了甚麼。

江權沒有回頭:「念。」

「一共25片晶圓。每片切割Die(裸片)數量450顆。理論總產出顆。」

阿忠吞了一口口水,艱難地繼續說道:「良品率(Yield)...5.2%。」

5.2%。

在半導體行業,良品率就是生命線。90%是優秀,80%是及格,50%是虧本。

而5.2%,意味着全軍覆沒。意味着幾千萬美金的投入,幾百個日夜的血汗,最終只換來了一堆昂貴的工業垃圾。

江權推開門,走進了測試區。

這一次,他穿上了全套的防塵服。他看到老闆進來,所有人都低下了頭。趙維明的眼圈是紅的,樸正洙的手在發抖,田中則死死地盯着屏幕上的紅色報錯代碼,彷彿要把它看出一個洞來。

「老闆,是光刻對準的問題。」趙維明的聲音沙啞,「微米的線寬太窄了,尼康的Scanner在邊緣區域出現了像差,導致...」

「還有蝕刻。」樸正洙補充道,「等離子體的濃度不均勻,造成了側壁損傷...」

「我們在想辦法修補。」田中急切地說道,「只要調整一下曝光參數,或者把那些邊緣的Die

屏蔽掉,良品率也許能拉到15%...」

「修補?」

江權打斷了他。

他走到探針臺前,拿起一片剛剛測試完的晶圓。

那是一片完美的圓形,在燈光下閃爍着彩虹般的光澤。每一個微小的方格里,都集成了數百萬個晶體管。它是人類工業文明的結晶,美得令人窒息。

但現在,它上面佈滿了黑色的墨點(Inkdots)。那是測試機打上去的「死刑標記」。

「15%?」江權看着手中的晶圓,語氣平靜得可怕,「田中,你是想告訴我,我們花了六個月,燒了幾千萬美金,就是爲了生產這種殘次品?」

「老闆,這是第一次流片,5%很正常...」田中試圖辯解,「英特爾當年做奔騰的時候,第一次也只有...」

「我不聽英特爾!」

江權突然吼了一聲。

這一聲吼,在空曠的廠房裏迴盪,嚇得田中差點跪下。

「我不管英特爾怎麼樣,我也不管臺積電怎麼樣。」江權舉起手中的晶圓,目光如刀,「在龍安,只有兩個標準:要麼是100%的完美,要麼就是0!」

「可是...」樸正洙還想說甚麼,「這批片子雖然良率低,但挑一挑還是能用的。有些芯片只是主頻上不去,可以降頻賣給VCD廠商,至少能回本...」

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