第229章 步進式光刻機成功！ （1/3）

沈永健屏住呼吸，手中動作愈發沉穩。

特製的光學鏡頭被精密夾具懸吊，他不斷調整着微米級的定位螺桿，直至鏡筒與基座接口紋絲咬合。

「咔噠~！」

一聲低低的脆響在此刻穿透車間。

物鏡嚴絲合縫地嵌入光刻機主體。

「成了！？」

劉師傅乾啞的嗓子喃喃自語道，帶着污漬的手在工裝褲上狠狠攥緊。

卓邵文蠟黃的臉上雙眼血絲依舊，自從負責光刻機後，對方一樣是這次項目研製中，投入精力最多任務作時間最長的一位。

此刻目光緊盯着才組裝完成的步進式光刻機，心中既興奮又緊張。

餘下衆人站在數米開外，此刻同樣興奮。

沈永健當下並未着急，而是環顧這臺大傢伙周身，又細細檢查了一圈。

這纔在衆人的注視下，按下了總控開關。

「嗡——！」

低沉的共振聲從機箱深處傳來。

汞燈的冷光霎時亮起，通過嶄新的物鏡在硅片承載臺上投下一圈光斑。

氮氣吹管嘶嘶低鳴，冷卻水循環系統平穩運行。

步進電機發出精準的「嗒嗒」聲，工作臺沿導軌滑出流暢的直線，控制面板的指示燈不斷閃爍後，最終平穩下來。

「邵文同志，先進行投影分辨率測試。」

沈永健沉穩地發出指揮，卓邵文立刻到操作檯前，將校準掩膜版推入光路中。

下一刻汞燈亮度瞬間提了好幾度，經過多層透鏡組的聚焦，最終在投影屏上炸開一道深紫色的光錐。

而顯微鏡的目鏡之中，0.5微米的測試線條纖毫筆直，邊緣銳利。

顯然，北春光電所的物鏡完美達標，且這一路運來也未讓這物鏡有任何的磕碰偏差。

「投影分辨率測試通過！」

第一項最重要的測試通過，在場衆人都悄然鬆了口氣。

劉師傅更是咧嘴笑了起來，露出長期抽菸的黃牙，沙啞低語道。

「我就猜能過！」

「這臺可比咱們原先的機子亮堂多了！這光刺得我眼睛都睜不開！這要是都不通過都沒天理了！」

聞言，其餘同志也跟着附和起來。

沉悶凝重的場面一時間愈發緩和。

「下一項套刻精度測試。」

「這測試我們輪流來吧，曹文三你今晚先頂上，邵文同志，曲嵩，張偉森，顧江河你們按次序排，直到測試完成。」

套刻精度測試也是光刻機極爲重要的一項測試。

不過其測試並非孤立，更像是機器激活前的一整套初始誤差建模與補償模型組建。

相當於將整個曝光場的一整套串行曝光，提前檢測出實際的誤差，這些測試的誤差數據會由計算機計算後生成第一版標準誤差補償參數環境。

與炮彈實際發射的「修正本」有着異曲同工之妙。